Оже-спектрометр PHI 700

"Оже-спектрометр PHI 700 является новейшей, высокоэффективной системой предназначенной для анализа и предоставления информации об элементном составе поверхности образца, субмикронных элементах, тонких пленках и интерфейсах. Электронная оптика прибора на полевой эмиссии обладает пространственным разрешением менее 8 нм, что позволяет в короткие сроки получать изображения высокого разрешения субмикронных элементов во вторичных электронах и выбрать область анализа. Оже-спектрометр способен определить любые элементы в приповерхностных слоях образца, кроме H и He. Наличие ионной пушки дает возможность предварительной очистки образцов, исследования непроводящих поверхностей и профилирования по глубине. PHI 700 позволяет проводить элементный анализ сложных образцов, таких, как: • полупроводниковые устройства: поверхностные дефекты или частицы, загрязнения, тонкие пленки и анализ отказов; • металлы: покрытия, композиты, анализ границ зерен (включая разлом в вакууме), коррозия и другие дефекты. Принцип работы: Суть метода Оже-электронной спектроскопии заключается в том, что в результате облучения исследуемого вещества быстрыми электронами на внутренних электронных оболочках атомов образуются вакансии. Эти вакансии могут быть заполнены электронами с более высоких энергетических оболочек как с излучением фотона, так и в результате безизлучательного Оже-перехода. В последнем случае электрон, заполняющий вакансию, передает избыток энергии другому электрону, находящемуся на той же самой или близлежащей электронной оболочке. Если величина избыточной энергии больше энергии связи третьего электрона, то происходит его вырывание из атома. Величины кинетических энергий эмитированных электронов зависят только от разности положения энергетических уровней, участвующих в процессе Оже- перехода и не зависят от энергии электронов первичного пучка. Поскольку каждый химический элемент имеет свой уникальный набор энергетических уровней, это обеспечивает его идентификацию по измеряемому энергетическому спектру эмитированных электронов. Анализ энергии и количества эмитированных электронов осуществляется с помощью электронного спектрометра. Каждый химический элемент имеет свой уникальный элементный спектр. Спектр соединения из нескольких элементов в первом приближении является суммой спектров отдельных элементов, поэтому соотношение концентраций химических элементов может быть получено путем измерения интенсивностей наблюдаемых пиков. Поскольку для осуществления Оже-перехода необходимо наличие у атома трех электронов, методом Оже спектроскопии можно обнаружить все элементы таблицы Менделеева за исключением H и He . Глубина анализа составляет от единиц до нескольких десятков Ангстрем, в зависимости от кинетической энергии регистрируемых электронов, состава и структуры вещества. Для целей послойного анализа используется распыление поверхности ионами инертных газов."