Гироскопический одноосный чип

"Гирочип АИСТ-120 состоит из трех кремниевых пластин. На средней пластине реализована микро-колебательная структура. Уникальная технология TSI применяемая при изготовлении нижней пластины, а также технология соединения пластин в вакууме, позволяет реализовать необходимые электрические соединения и обеспечить высокую добротность микроколебательной структуры гирочипа. Процесс производства максимально надежен и гарантирует долгосрочное сохранение вакуумной среды. Гирочип изготавливается компанией "Silex Microsystems" (Швеция), которая является признанным лидеров в производстве сложных MEMS структур и систем и прецизионном травлении кремния."