Микроскоп LYRA 3 XM

Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений высокого разрешения, высокой контрастности, с низким уровнем шумов. Уникальная трехлинзовая электронная оптика Wide Field Optics™ с использованием промежуточной линзы для оптимизации формы пучка, запатентованная компанией Tescan, предназначена для получения изображений в различных режимах (Разрешение, Глубина резкости, Широкое поле обзора и т.д.). Технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации параметров пучка электронов в реальном времени с помощью тщательно проработанного интегрированного программного обеспечения Electron Optical Design, что позволяет, в частности, выполнять прямой и непрерывный контроль размера пучка и тока зонда. Детекторы сцинтилляторного типа на основе высокочувствительных YAG кристаллов незаменимы при сканировании с высокими скоростями. Все процедуры настройки микроскопа автоматизированы, в том числе центрирование и настройка электронной оптики.