Полуавтоматическая центрифуга отмывки фотошаблонов модели SPS APT MCD-200 NPP

Установка предназначена для нанесения, проявления фоторезиста на подложки и отмывки подложек спрей-методом. Корпус выполнен из полипропилена. Плоская крышка изготовлена из прозрачного полимера. Подача рабочих веществ осуществляется через встроенные линии CIL. Выход избытка фоторезиста или продуктов смыва осуществляется через слив, расположенный на дне центрифуги. Диаметр слива 1,25?. Подложка закрепляется в установке с помощью вакуумного держателя. Поддерживается работа с подложками и осколками размером до 200 мм а также пластин нестандартных размеров с использованием специальных держателей. Управление установкой осуществляется программно, с помощью встроенного микроконтроллера. Задание программы осуществляется с клавиатуры. Состояние и режим работы центрифуги отображается на экране с подсветкой. Возможно задание 50 программ из 99 пунктов каждая. Каждый пункт задает время выполнения, скорость вращения двигателя центрифуги (0-10000 об/мин), его ускорение (0-3000 об/мин*с), включение присоса.