Протяженные ионные источники

Протяженные ионные источники с замкнутым дрейфом электронов предназначены для финишной очистки подложек (в частности, архитектурных стекол) перед нанесением покрытий, ионного ассистирования процесса нанесения покрытий. С их помощью также можно наносить покрытия методом химического газофазного осаждения. Потребность в таких источниках проявляется во многих технологиях ионной обработки материалов, в том числе, в технологиях производства микроэлектронных компонентов.