Чувствительные элементы давления

"ЧЭД 2, ЧЭД 4М, ЧЭД 9 - чувствительные элементы избыточного давления, ЧЭД 2А, ЧЭД 4МА, ЧЭД 9А - чувствительные элементы абсолютного давления. ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД (ИПД 2, ИПД 4М, ИПД 9) и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Соединение элементов в конструкции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузионной пайки в вакууме. Выходные характеристики ЧЭД повторяют выходные характеристики кристалла ИПД, входящего в состав ЧЭД. Конструкция ЧЭД обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке ЧЭД в корпус датчика. Возможно использование ЧЭД 2 при 10 - 63 МПа. ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Верхний предел шкалы измеряемых давлений Рном, МПа, нормированный ряд: для ЧЭД4М 0,01;....; 0,016 для ЧЭД2 0,1;……; 25 для ЧЭД9 0,025;…; 25 Диапазон рабочих температур, оС от - 50 до + 100 Допустимое перегрузочное давление, не более 3 Рном Изменение выходного сигнала DUвых при давлении Рном и напряжении питания Епит = 5 В, мВ, не менее для ЧЭД4М ЧЭД2 ЧЭД9 >20 >40 >40 Нелинейность выходного сигнала, 2Кнл, %, не более 0,2 Температурный коэффициент чувствительности, ТКЧ, со схемой термокомпенсации при оптимальном Епит %/10°С, не более 0,2 Температурный дрейф «нуля», ТКН, со схемой термокомпенсации при оптимальном Епит в диапазоне (5±0,3) В, %/10°С, не более 0,3"