Четырех точечные зонды

Серия Pro4 обеспечивает проведение простых резистивные измерения. Компьютер автоматически управляет Keithley 2400 серии и проходит через множество текущих параметров настройки, для нахождения идеальных данных для точного считывания. QuadPro - система резистивного картографирования подложки. Система QuadPro может управляться как в ручном, так и в автоматическом режимах. Системы с ручным управлением, могут быть модернизированы, в дальнейшем. Автоматические системы моторизованы и могут поэтапно передвигаться на 9, 25, 49, или 121 тестовых точках подложек размером 100 мм, 125 мм, 150 мм, 200 мм, или 300мм. Точность измерений на установках лучше, чем 1 в диапазоне удельного сопротивления от 1 милли Ом до 2 Мега Ом на квадрат. Автоматическая система QuadPro включает в себя компьютер, шаговый контроллер, и базовую станцию с 200 или с 300 мм столиком. Программное обеспечение учитывает отбор 1, 5, 9, 25 или 49 точек для автоматизированного тестирования и картографирования образца. По окончании проведения измерений, на дисплее отображается карта подложки. Просмотр карты может быть проведен как в 2D так и в 3D режимах. Среднее число и среднее квадратическое отклонение удельного сопротивления отображаются выше карты подложки