Установка для нанесения поли-пара-ксилиленовых покрытий УНБ-3

Технические характеристики установок УНБ-1 УНБ-2 УНБ-3 УНБ-4 Объем камеры осаждения, л 15 160 100 40 Диаметр камеры осаждения, м 0,3 0,64 0,5 0,38 Длина (высота) камеры, м 0,25 0,5 0,5 0,36 Количество изделий на загрузку,шт. максимальный размер, мм 10 170*110 16 200*420 12 175*350 10 120*340 Габаритные размеры, м 2*0,61*1,2 2,2*0,86*1,7 2,3*0,92*1,6 2*0,77*1,3 Масса установки, кг 400 650 650 450 Установочная мощность, не более, кВт 11 8 11 11 Потребляемая мощность, кВт 6-7 3-5 4-5 4-5 Загрузка димера для 10 мкм, гмаксимальная 10 35 65 150 60 150 22 150 Скорость осаждения покрытия оптимальная, мкм/час 4-6 2-5 2-5 4-6 Время нанесения для толщины 10 мкм, ч, для ППКП, для ППКП-Сl 3 2 4 3 4 3 3,5 2,5 Температура в камере, °С -5...+25 -5...+25 -5...+25 -5...+25 Давление, Па в камере, на насосе 1-10 0,7-2 1-10 0,7-2 1-10 0,7-2 1-10 0,7-2 Возможности СУ верхнего уровня по авт. ведению процесса Задание режимов вручную. Автоматич. регистр. данных в ходе процесса. Автоматич. ведение процессов аппретирования и нанесения покрытия. Автоматич. ведение процессов аппретирования и нанесения покрытия. Автоматич. ведение процессов аппретирования и нанесения покрытия. Назначение (серийность) микроэлектро- ника, др. мелкие изделия или единичные электронные модули (ЭМ) серийное производство ЭМ серийное производство ЭМ микроэлектроника, мелкосерийное производство ЭМ Стоимость, руб* 3100000,0 3200000,0 3400000,0 3800000,0