Установка MDA-150

Установка MDA-150

Особенности:

Прецизионная точность совмещения 1 мкм

Многофункциональный держатель пластин и подложек до 6''. Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)

Прецизионный столик для совмещения и микроскоп

Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования

Различные мощности излучения 350Вт, 500Вт, 1000Вт (цифровое управление)

Операции с помощью компьютера.

Более 100 рецептов

Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках

Антивибрационный стол

Эргономичный дизайн для удобного использования

Параметр MDA-150 Мощность лампы УФ источник света с мощностью 350Вт, 500Вт, 1000Вт (цифровое управление) с контролем интенсивности и мощности излучения. Размер подложки кусочки, пластины до 6 дюймов, размер подложек 6х6 дюйма Точность совмещения 1 микрон Разрешение 1 микрон, при использованиитонкого фоторезиста наSi пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм) Размер маски 7 х 7 дюймов УФ лампа 350Вт, 500Вт, 1000Вт (цифровое управление) Оптическое зрение Микроскоп двойного поля (80x -1000x увеличение, 1600х - опция), CCD камера Размер однородного пучка излучения 7,25 х 7,25 дюймов Однородность пучка < 3-5% Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 50 мВт/см2 Режим управления С помощью ПК Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу ? (± 5°) Выравнивание Компенсация ошибки клина

автоматическое определение края - датчик давления)

Методы экспонирования Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО) Стол Антивибрационный стол Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA) или обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ излучения (DUV)