Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-12SA

Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-12SA
Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-12SA

MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MIDAS SYSTEM Co., Ltd (Корея)

MIDAS SYSTEM Co., Ltd. - компания один из мировых лидеров в производстве систем фотолитографии для процессов производства полупроводников и FPD (Flat Panel Display) дисплеев. Компания предлагает установки исистемы совмещения и экспонирования, а также центрифуги для нанесения фоторезиста для технологийflip chip, полупроводниковые приборы, MEMS, оптоэлектроника, СВЧ приборы, дифракционная оптика, LED чипы и др.

MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования

Установки MDA-80SA / MDA-12SA прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS,оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства,LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость. По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой. Обработка пластин до 200 мм / 300мм.

Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

Особенности:

Прецизионная точность совмещения 1 мкм

Многофункциональный держатель пластин и подложек до 8'' / 12". Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)

Прецизионный столик для совмещения и микроскоп

Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования

Операции с помощью компьютера.

Более 100 рецептов

Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках

Антивибрационный стол

Эргономичный дизайн для удобного использования

Характеристики:

Параметр MDA-80SA MDA-12SA Мощность лампы УФ источник света с мощностью 2 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения. УФ источник света с мощностью 2-5 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения. Размер подложки кусочки, пластины до 8 дюймов, размер подложек до 8х8 дюйма кусочки,пластины до 14 дюймов, размер подложек до 14х14 дюйма Точность совмещения 1 микрон 1 микрон Разрешение 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Siпластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм) 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Siпластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм) Размер маски 9 х 9 дюймов 15 х 15 дюймов УФ лампа 2 кВт. 2-5 кВт. Оптическое зрение Микроскоп двойного поля (130x -850x увеличение, 1600х - опция), CCD камера Микроскоп двойного поля (480x -1000x, увеличение 1600х - опция), CCD камера Моторизованный микроскоп Моторизованный микроскоп по осям X,Y,Z (управление с джойстика) Моторизованный микроскоп по осям X,Y,Z (управление с джойстика) Моторизованный столик Столик с моторизацией по осям X,Y,Z Theta Столик с моторизацией по осям X,Y,Z Theta Размер однородного пучка излучения 9,25 х 9,25 дюймов 13,25 х 13,25 дюймов Однородность пучка < 3-5% < 3-5% Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 15-20 мВт/см2 При мощности лампы 2 кВт: 15-30 мВт/см2

При мощности лампы 5 кВт: 25-60 мВт/см2

Интенсивность излучения при длине волны 400 нм Максимальная 20-25 мВт/см2 При мощности лампы 2 кВт: 30-50 мВт/см2

При мощности лампы 5 кВт: 50-100 мВт/см2

Режим управления С помощью ПК С помощью ПК Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу ? (± 5°) Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу ? (± 5°) Выравнивание Компенсация ошибки клина

автоматическое определение края - датчик давления)

Компенсация ошибки клина

автоматическое определение края - датчик давления)

Методы экспонирования Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО) Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО) Дисплей Монитор с точскрином Монитор с точскрином Стол Антивибрационный стол Антивибрационный стол Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA), обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ излучения (DUV) ИК опция обратного совмещения (IR BSA), обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ излучения (DUV)
Вас также могут заинтересовать

Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-80SA

Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-80SA MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MIDAS SYSTEM Co., Ltd (Корея) MIDAS SYSTEM Co., L

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M Установка MDA-400Mшироко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. В режиме контактного экспонирования система может дос

Гейзер Установка для обезжелезивания и умягчения воды ws1252/f65p3-a (экотар а) с автоматической промывкой по расходу

Обезжелезивание, умягчение, колонна 12х52, Экотар А, управляющая голова-F65Р3-A (Китай) сПроизводительГейзерАртикул171970347ТипфильтрЦвет товарасерый/синийФункцииобезжелезиваниеПодключение к водопрово

Набор инструментов JTC JTC-7792, для установки сальников передних и задних ступиц, 7 предметов

Предназначен для установки сальников передней и задней ступицы. Может использоваться с гидравлическим инструментом. Применение: VOLVO FM12/FM. Тип сальника передняя ось: F-566426, Н195. Тип сальника з

Накладной биометрический замок Kaadas R7-5 Black с возможностью установки на узкопрофильные и пластиковые двери

Замок универсален и прост как в монтаже, так и в использовании, для установки нужны лишь дрель и отвертка. Его можно установить, как на левосторонние, так и на правосторонние двери; на дверь, которая
Внимание!
Информация по Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-12SA предоставлена компанией-поставщиком МИНАТЕХ, ООО. Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».
Контакты компании
Страна
Россия
Город
Москва
Адрес
105203, Россия, Москва, Нижняя Первомайская ул., д.48/9
Телефон
+7 (495) 6643917, +7 (926) 1346915
Интернет
www.minateh.ru
Сделать запрос
Введите свое имя
Укажите свой Email
Напишите ваш вопрос
Подтвердите согласие