Система диффузионная однозонная многотрубная модели СД.ОМ-2/100-2М, СД.ОМ-3/100-2М

"Назначение. Система предназначена для автоматической групповой газотермическойпрецизионной обработки пластин кремния диаметром 100 мм при производстве изделий полупроводниковой электроники. Тип оборудования : трех-(двух)трубная газонаполненная электропечь периодического действия с однозонным прецизионным регулированием температуры и горизонтально-расположенным загрузочным устройством. Состав системы : устройство загрузочное; электропечь диффузионная однозонная (двухтрубная/трехтрубная); устройство газораспределения; устройство программного управления. Основные преимущества : -Высокая точность поддержания параметров технологического процесса. -Возможность проведения различных технологических режимовв каждой из труб (реакторов). Таблица. Основные технические данные Наименование параметра Значение параметра Диапазон рабочих температур в тепловой зоне реактора, °С 700 - 1300 Количество реакторов (труб), шт. 2 (для СД.ОМ-2/100-2М) 3 (для СД.ОМ-3/100-2М) Диаметр кварцевого реактора (трубы), мм, не более 150,0 Диаметр обрабатываемых пластин, мм, не более 100,0 Длина рабочей тепловой зоны, мм, не менее 600,0 Нестабильность поддержания температуры по опорной точке в пределах длины рабочей тепловой зоны при статическом режиме в реакторе (среднеквадратическое отклонение) в течение 24 часов, °С, не более 0,25 Максимальная потребляемая электрическая мощность, кВт, не более 100,0 Масса перемещаемых изделий вместе с кассетой, кг, не более 3,0 Масса системы, кг, не более 3345,0 Габаритные размеры, мм, не более длина ширина высота 4850,0 905,0 2650,0 Питание установки осуществляется от трёхфазной четырехпроводной с нулевым проводом сети переменного тока, напряжением 380/220 В ± 10 %, частоты 50 Гц ± 2,5 %. Установка изготовлена в климатическом исполнении УХЛ 4.2 по ГОСТ 15150-69. Гарантии . Срокгарантийногообслуживания печи - 12 месяцев, гарантийныйсрокхранения - 12 месяцев. Срок поставки печи: не более 6 месяцев с даты заключения договора. Обозначение при заказе : 1. Система диффузионная однозонная двухтрубная мод. СД.ОМ-2/100-2М. 2. Система диффузионная однозонная трехтрубная мод. СД.ОМ-3/100-2М."