Лазерный сканирующий 3D микроскоп VK-X100/X200

"VK-X100/X200 Series является дальнейшем развитием системы VK-9700. Keyence семейства VK-X100/X200 Series- это уникальное сочетание удобства цифрового оптического микроскопа, точности (высокие разрешение и глубина резкости) характерной для электронного микроскопа и широких беcконтактных измерительных возможностей, присущих лазерному профилометру. VK-X200 Series самый передовой в мире лазерный сканирующий микроскоп с максимальным увеличением до 24000х крат и разрешением 0,5 нанометров. В VK-X100/X200 Series реализован алгоритм полностью автоматических измерений. Программное обеспечение семейства VK VK-X100/X200 легко в использовании, имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет: измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного Пользователем профиля в разрезе выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрия, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта измерить объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов; проводить автоматические измерения высоты и ширины структур. сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов. Спецификация Апохроматические объективы 10х, 20х, 50х/0,95, 150х/0,95 Моторизованный оптический zoom от 1х до 8х Суммарное увеличение до 24.000х* Разрешение по Z - 0,0005мкм (повторямость ? 0,012мкм**) Диапазон измерений по Z - 7мм Разрешение по XY - 0,001мкм (повторямость 3? 0,02мкм***) 1/3" цветная CCD камера со сверх высоким разрешением (3072х2304). Увеличение объектива 150х, соотношение размеров матрицы и монитора 20х даёт увеличение 3000х + промежуточный оптический ZOOM даёт увеличение до 8х, итого 24000х крат Повторяемость ? определялась экспериментально путём многократного измерения стандарта глубины 2 мкм (объектив 50х/0,95) Повторямость 3? определялась экспериментально путём многократного измерения дифракционной решетки (расстояние между линиями на стандартном образце 1 мкм, объектив 150х/0,95) Высокая антивибрационная защита"