Электронно-ионные сканирующие микроскопы Quanta 3D

"модифицированные системы на базе сканирующих электронных микроскопов Quanta. Приборы для исследования внутреннего строения объектов и создания стерео изображения образцов без дополнительной программной обработки. Quanta 200 3D - электронно-ионный сканирующий микроскоп с электроннолучевой колонной, оснащенной вольфрамовым катодом, ускоряющее напряжение от 200эВ до 30кВ, разрешение (при оптимальном WD) 3,5 нм при 35кВ; 3,5 нм при 30кВ в режиме естественной среды; < 15 нм при 1кВ в режиме низкого вакуума. Ионная колонна Magnum с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, ускоряющее напряжение от 5 кВ до 30 кВ, разрешение 20 нм. Система оснащена 5-и осевым моторизованным столиком 50х50х25 мм, газовыми инжекционными системами для напыления проводников и диэлектриков, а также для травления образцов. Прибор идеален для анализа внутреннего строения объектов. В состав прибора включено программное обеспечение для автоматизированной подготовки проб к анализу на просвечивающем микроскопе."