Растровый электронный микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000

"Cостав и конструктивные особенности Растровый электронный микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000 состоит из следующих блоков и систем: электронно-оптическая и вакуумная системы, видеоконтрольное устройство (ВКУ), система рентгеновского микроанализа, контрольные образцы. Электронно-оптическая система - это: электронная пушка с термоэмиссионным вольфрамовым катодом с электромагнитной и механической юстировкой; двухлинзовая конденсорная система с магнитными шунтами для юстировки; привод для быстрой смены и установки на электронно-оптическую ось апертурной диафрагмы; двухщелевая объективная линза с низким коэффициентом аберрации. Коническая форма магнитопровода обеспечивает совмещение прецизионного растрового режима работы на рабочем отрезке 25 мм с микроанализом под углом выхода рентгеновского излучения 40o без нарушения башмака линзы; двухъярусная растровая отклоняющая система, восьмиполюсный стигматор, катушка динамической фокусировки, катушка электромагнитного перемещения растра; шлюзовое устройство для быстрой смены катодов без нарушения вакуума в камере образцов; большая камера образцов (296 ? 360 ? 273) мм3 с портами для детектора вторичных электронов, двух спектрометров волновой дисперсии, спектрометра энергетической дисперсии, шлюзового устройства, механизма перемещения объектов; устройство шлюзования образцов диаметром до 100 мм и высотой 18 мм; программно-управляемый механизм перемещения объектов. Вакуумная система: два диффузионных насоса с водяным охлаждением производительностью 700 л/сек и 340 л/сек и два форнасоса пластинчато-роторного типа производительностью 5 л/сек обеспечивают рабочий вакуум в пушке и камере образцов; азотные ловушки на входе диффузионных насосов для уменьшения загрязнения образца; азотная ловушка в районе пушки для продления жизни катода; вакуумный демпфер позволяет отключать форнасос и тем самым уменьшать вибрации в режиме наблюдения и регистрации изображений высокого разрешения; выносной пульт ручного управления вакуумной системой; съёмные заглушки разделения вакуумного объёма камеры образцов и спектрометров волновой дисперсии с прозрачными окошками для выхода рентгеновского излучения."