"Установка "Редмет 90М" для выращивания монокристаллов крмения диаметром 300 мм и длинной до 3000 мм методом Чохральского"

"ОАО «Гиредмет» имеет почти пятидесятилетний опыт создания промышленных установок для выращивания монокристаллов кремния. За это время на промышленных предприятиях было внедрено более 1000 единиц названного оборудования. Разработанное и внедренное ОАО «Гиредмет» ростовое оборудование неоднократно выставлялось на российских и международных выставках и удостаивалось высших наград. Установка «Редмет-90М» предназначена для выращивания бездислокационных монокристаллов кремния методом Чохральского. Установка «Редмет-90М» является развитием серии установок «Редмет» и базируется на конструктивных решениях, прошедших многолетнюю отработку в серийном производстве. Ее отличают: - простота конструкции обеспечит меньшие затраты на изготовление оборудования, лучшую герметичность, надежность, простоту и удобство обслуживания; значительно облегчит труд и улучшит условия труда обслуживающего персонала; - снижение материалоемкости конструкции печного агрегата установки; - наличие специального устройства, позволяющего совместить по времени охлаждение кристалла с догрузкой тигля, обеспечит повышение производительности (~20). Технические характеристики: Величина загрузки тигля до 210 кг Максимальный диаметр монокристалла 300 мм Осевое перемещение затравки до 3000 мм Диаметр тигля 508 мм, 610 мм Установленная мощность 250 кВт Скорость перемещения затравки рабочая (0,25... 7,6) мм/мин маршевая (14...720) мм/мин Частота вращения затравки (1...36) об/мин Скорость перемещения тигля рабочая (0,03...0,77) мм/мин маршевая 46 мм/мин Частота вращения тигля (1...28) об/мин Величина хода штока тигля 450 мм Вакуум предельный 5·10-2 торр Давление инертного газа на входе 2,0 ати в камере (5...20) торр Расход инертного газа (1000...4000) л/ч Давление воды на входе (2...4) ати на выходе свободный слив Расход воды до 10 м3 /ч Электропитание установки трехфазное,380/220В,50Гц Система управления компьютеризированная Габариты печного агрегата ширина 1900 мм глубина 2350 мм высота 7400 мм высота при поднятой камере 8200 мм Масса печного агрегата 4500 кг Установка «Редмет-90М» включает в себя: Печной агрегат; Блок силового электропитания; Систему индикации, контроля и управления."