Установка совмещения и экспонирования MDA-400M
Установка MDA-400Mшироко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. В режиме контактного экспонирования система может достигнуть прецизионной точности разрешения в 1 мкм. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства. Обработка пластин до 150 мм.
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование.
Результаты после проведения процессов (инспекция с СЭМ).pdf
Особенности:
Прецизионная точность совмещения 1 мкм
Многофункциональный держатель для кусочков и пластин до 6'' (150мм)
Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
Антивибрационный стол
Эргономичный дизайн для удобного использования
Низкая стоимость/высокое качество
Управление с компьютера
Мощность лампы УФ источник света с мощностью 350 Вт с контролем интенсивности и мощности излучения. Размер подложки кусочки, пластины до 6 дюймов, размер подложек 6х6 дюйма Точность совмещения 1 микрон Разрешение 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм) Размер маски до 7 х 7 дюймов УФ лампа 350 Вт. Оптическое зрение Микроскоп двойного поля (80x - 1000xувеличение), CCD камера Размер однородного пучка излучения 6,25 х 6,25 дюймов Однородность пучка < 5% Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 15-25 мВт/см2 Режим управления с ПК (PLC контроль) Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс. Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 10 мм) и по углу ? (± 5°) Выравнивание Компенсация ошибки клина Методы экспонирования Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором(регулируемое 1 мкм) Стол Антивибрационный стол Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA), Датчик интенсивности УФ излучения, модульUV-LED излучения (365 нм)Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-12SA
Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-12SA MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MIDAS SYSTEM Co., Ltd (Корея) MIDAS SYSTEM Co., LУстановка видеонаблюдения и систем СКУД без очереди
Вопрос безопасности и защищённости в наше время актуален по ряду причин. Кражи в домах, на защищённых территориях и прочие преступления никуда не уходят, и поэтому наша компания ВидеоГрупп,Видео ГрупУДЭ-2 Установка приготовления и дозирования щелочного электролита
Установка приготовления и дозирования электролита УДЭ-2 предназначена для приготовления и разлива щелочных электролитов, кроме фторосодержащих электролитов, электролита хромирования и др. сильных окисУДЭ-2К Установка дозирования и приготовления кислого электролита
Установка приготовления и дозирования электролита УДЭ-2К предназначена для приготовления и разлива кислых электролитов, кроме фторосодержащих электролитов, электролита хромирования и др. сильных окислУстановка обдува и сушки емкостей
Установка обдува емкостей предназначена для удаления остатков влаги с продукта перед нанесением даты, наклейкой этикетки или упаковкой продукта. Предполагается установка на однорядный транспортер закаИнформация по Установка совмещения и экспонирования MDA-400M предоставлена компанией-поставщиком МИНАТЕХ, ООО. Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».