Автоматизированная установка для выращивания монокристаллов способом Чохральского (Ника-3)

"Многофункциональная установка НИКА-3 предназначена для выращивания широкой гаммы тугоплавких оксидных монокристаллов способом Чохральского, таких как сапфир, алюмоиттриевый гранат, танталат лития, ниобат лития, молибдат гадолиния, лангасит, ванадаты редкоземельных металлов, силикат и германат висмута и многих других. НИКА-3 разработана с учетом опыта эксплуатации оборудования предыдущего поколения, рекомендаций наших заказчиков, естественного прогресса технических характеристик комплектующих устройств и программного обеспечения. Прямой привод ходового винта механизма вытягивания с использованием шаговых двигателей технологии НАНОШАГ (Nanostep) c разрешением до 500.000 шагов на оборот, обеспечивающий отсутствие микро-ускорений на малых скоростях вытягивания; Использование длинноходных (550 мм) тарельчатых сильфонов для уплотнения штоков; Новая механика системы взвешивания кристалла, существенно снижающая шум измерения при вращении кристалла; Программное обеспечение для сквозной автоматизации процесса; Комплектация установки транзисторным генератором (IGBT) мощностью 40 или 100 кВт."